나노종합기술원은 올해 말까지 12인치 반도체 테스트베드를 구축할 계획이라고 23일 밝혔다.

기술원은 지난해부터 2022년까지 총사업비 450억원을 투입해 반도체 장비·시설 구축, 공정 개발 등을 추진 중이다.

지난해부터 시작된 일본의 수출 규제에 대응해 해외 의존도가 높은 반도체 소재·부품·장비의 국산화를 지원하기 위한 것이다.

구체적으로 '불화아르곤 이머전 스캐너'(ArF Immersion Scanner) 등 핵심장비 10대를 도입하고, 1천㎡ 규모의 청정실 팹(반도체 생산라인) 증축 등을 추진한다.

올해 말까지 300㎜(12인치) 웨이퍼(반도체) 장비 활용을 위한 단위·모듈 공정시설을 개발할 계획이다.

이를 통해 중소·중견기업이 개발한 반도체 핵심 소재의 성능을 평가하고, 삼성전자나 SK하이닉스 등 수요기업 연계를 지원하게 된다.

또 반도체 분야에서 15년 이상 일한 민간 경력자 8명을 채용해 신규 장비 운영과 컨설팅, 플랫폼 기술 개발 등을 맡길 계획이다.

단기적으로는 40nm(1㎚는 10억분의 1ｍ)급 패터닝 공정 기술에서 20nm급 다층 공정 테스트베드까지 구축하는 것을 목표로 하고 있다.

이조원 기술원장은 "반도체에 미세회로를 새길 때 필요한 핵심 재료인 '하드 마스크'를 비롯해 반도체 테스트용 '마이크로 핀', '반도체 공정 진단 센서' 등 기술을 기업에 이전해 국산화하는 데 성공했다"며 "기술 유출도 막고 중소기업도 지원할 것"이라고 말했다.

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