나노종합기술원은 광학기기 제조업체 코리아스펙트랄프로덕츠와 함께 반도체 공정에 사용되는 광 진단 센서 핵심 부품을 국산화하는 데 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단 센서는 반도체 제조 공정 중 증착·식각용 가스에 의해 나타나는 빛의 발광·흡수 스펙트럼을 분석하는 장비다. 반도체 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 진단할 수 있다.

반도체 공정이 고집적·초미세화하면서 정밀한 측정 성능을 갖춘 진단 센서 수요가 커지고 있다.

하지만 국내 센서 성능의 한계와 분석 기술의 어려움 등으로 미국 등 해외 수입에 의존하는 실정이다.

중소기업은 제품을 개발하더라도 성능을 실증할 시설·장비가 없어 반도체 생산 기업이 요구하는 높은 수준의 제품 사양을 충족하기 어려웠다.

코리아스펙트랄프로덕츠는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원 지원을 받아 최종 수요기업 납품 기준을 충족하는 제품을 개발하는 데 성공했다.

분해능(식별 능력)이 0.4㎚(나노미터·10억분의 1ｍ) 이하로, 해외 선진 제품보다 측정 정밀도가 높고 스마트 공정 제어도 가능하다.

지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가가 진행되고 있다.

코리아스펙트랄프로덕츠 관계자는 "올해 예상 매출은 28억원 정도로, 2024년 200억원 매출 달성을 목표로 하고 있다"고 말했다.

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장인수 기자 다른기사 보기