기가포톤, 패널 제조업체 양산라인에서 신형 KrF 엑시머 레이저에 대한 평가 개시

[경제신문=파이낸스투데이]
반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시)가 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하여 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다고 발표했다.

이번에 기가포톤은 자사의 새로운 브랜드 “GIGANEX”（주 시리즈의 일환으로써 동사가 창업 이래 축적해 온 KrF 기술을 활용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하였으며, 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다. 신형 KrF 엑시머 레이저는 600W의 고출력 사양으로, 대형 패널의 고화질화에 대한 수요가 높아지는 국내외 패널 제조업체들이 어닐링용 광원으로써 큰 기대를 걸고 있다. 기가포톤은 신형 KrF 엑시머 레이저 양산기를 2017년 여름 출하를 목표로 하고 있다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 “당사가 개발하는 신형 KrF 엑시머 레이저가 “GIGANEX” 시리즈의 라인업에 추가되었기 때문에 보다 다양한 고객의 니즈에 대응할 수 있을 것으로 기대한다”며 “’GIGANEX’ 시리즈는 앞으로도 FPD 업계를 비롯한 다양한 분야에서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다”고 말했다.